电子业水环真空泵量大从优

在工业生产的许多工艺过程中，如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等，水环泵得到广泛的应用。真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000~4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa。水环式真空泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2×105Pa表压力。真空是指在给定的空间内低于一个大气压的气体状态或稀薄的气体状态，可分为低真空、中真空、高真空、极高真空。真空泵是使用广泛的真空获得设备。

真空泵的发展从十七、十八世纪迄今已经历了三个多世纪漫长的历史过程。从原始的水泵开始发展成为现有的机械泵、扩散泵、分子泵、低温泵、离子戮射泵、升华泵等数十种。真空泵的市场根据用户的需要而发生动态变化。市场增长的主要驱动力来自于半导体工业的迅速发展以及干泵和分子泵应用领域的日益扩大。为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。

真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。随着真空应用的发展，真空泵的种类已经发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万。数百万升，其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压力低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。